高純氮用途

在集成電路、半導(dǎo)體和電真空泵器件制造中作為保護(hù)氣和運(yùn)輸氣，化學(xué)液相淀積時(shí)的載氣，液體外擴(kuò)散源的帶上氣，在高溫?cái)U(kuò)散爐中作為器件的保護(hù)氣。高純氮在外延、光刻、清理和揮發(fā)等工序中，作為置換、干躁、貯存和運(yùn)輸用氣體。顯像管制造中規(guī)定N2純度為99.99%之上。在航天技術(shù)中，液氫充注系統(tǒng)務(wù)必先用高純氮置換，再換高純氦置換。

高純氮消防安全應(yīng)急措施

迅速撤離泄漏污染人員至優(yōu)勢(shì)處，并開展防護(hù)，嚴(yán)苛限定進(jìn)出。提議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器。不必直接接觸泄漏物。盡量斷開泄漏源。避免 氣體在低陷處堆積，遇打火源起火發(fā)生爆炸。用排煙風(fēng)機(jī)將漏排氣送至空曠處。漏氣器皿要妥善處理，恢復(fù)、檢測(cè)后再用。用霧狀水維持火場(chǎng)中器皿制冷。能用霧狀水自噴加快液氮揮發(fā)，但不能應(yīng)用水槍射至液氮。如吸進(jìn)高純氮，覺得呼吸困難，給供氧。如吸氣終止，馬上開展人工呼吸。就診。

分子式： N2

性質(zhì)：純度大于99.999%。無色無臭無味無毒的惰性氣體。相對(duì)密度ds(21.1℃，空氣=1)0.967。氣體密度1.153kg/m3(21.1℃，101.3kPa)；液體密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。

相對(duì)分子質(zhì)量 28.013

熔點(diǎn) 63.15K,-210℃,-346oF

沸點(diǎn)，195.6

臨界溫度 126.1K,-147.05℃,-232.69oF

臨界壓力 3.4MPa,33.94bar,33.5atm,492.26psia

臨界體積 90.1cm3/mol

臨界密度 0.3109g/cm3

臨界壓縮系數(shù) 0.292

偏心因子 0.040

液體刻密度 ,-180℃時(shí) 0.729g/cm3

液體熱膨脹系數(shù) ,-180℃時(shí) 0.00753 1/℃

表面張力 ,-210℃時(shí) 12.2×10-3 N/m,12.2dyn/cm

氣體密度 ,101.325 kPa(atm)和70oF(21.1℃)時(shí) 1.160kg/m3 ,0.0724 lb/ft3

氣體相對(duì)密度,101.325 kPa(1atm)和70oF時(shí)(空氣=1) 0.967

汽化熱 , 沸點(diǎn)下 202.76kJ/kg,87.19 BTU/1b

熔化熱 , 熔點(diǎn)下 25.7kJ/kg,11.05 BTU/1b

氣體定壓比熱容 cp ,25 ℃時(shí) 1.038kJ/(kg· k),0.248 BTU/(1b·R)

氣體定容比熱容 cp ,25 ℃時(shí) 0.741kJ/(kg· k),0.177 BTU/(1b·R)

氣體比熱容比 , cp/cv 1.401

液體比熱容 ,-183℃時(shí) 2.13kJ/(kg·k ),0.509 BTU/(1b·R )

因體比熱容 ,-223℃時(shí) 1.489kJ/(kg·k ),0.356 BTU/(1b·R )

氣體摩爾熵 ,25℃時(shí) 191.5 J/(mol·k )

氣體摩爾生成熵 ,25℃時(shí) 0 J/(mol·k )

氣體摩爾生成焓 ,25℃時(shí) 0 KJ/mol